无尘车间(洁净室)是通过技术手段控制室内污染物浓度的特殊空间,洁净度检测是评估其环境达标的关键,尘埃粒子计数器则是主要的检测设备。
洁净度分级直接决定采样体积标准,GBJ73-84 明确规定:100级洁净室单次取样量需≥1L,1000~10000 级需≥0.3L,万级需≥0.1L。其中100级洁净室推荐使用高流量计数器,若不具备相关设备,也必须保证单次采样体积不小于1L。实际检测时,需在满足对应级别最小采样体积要求的基础上,尽量选用大流量设备。
当前洁净度检测以光散射粒子计数器为主,工作原理是通过捕捉微粒散射的光线,换算得出微粒的粒径与数量。这类设备能自动连续测量室内空气含尘量,直接显示瞬时粉尘浓度,还可实现不同粒径浓度的测量,操作便捷高效。按光学结构划分,它主要有侧散射型(照明与检测系统光轴交叉)和后向散射型(两系统光轴共线)两类,相比电子显微镜等设备更适用于实时监测场景。
采样过程需遵循等速原则,即采样管入口方向要与被采样单向气流方向一致,且入口空气平均速度需与测点气流平均速度相同。非等速采样对≤0.5μm 的颗粒影响较小,但会导致≥0.5μm 颗粒的浓度计算失真。
检测点布局需符合 GB50073-2013《洁净厂房设计规范》:所有测点均位于距室内地坪 1.00m 的水平面内;单向流洁净室测点总数不少于 20 个,间距控制在 0.5~2.0m,水平单向流的测点仅布置在工作区域内;非单向流洁净室面积≤50m² 时,需布置5 个测点。